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膜层结构

叠层架构:Al + TiO₂ + Ti + Si(金属-介质-金属 FP 光学谐振腔膜系)
基底兼容:硅片、光学玻璃、石英、蓝宝石等(可根据设计拓展至其他光学基底)
工艺制程:多靶连续磁控溅射(PVD物理气相沉积)
参数说明:各层膜厚、谐振峰位与光谱特性均可按需定制开发

核心优势与
综合性能

精准的光学谐振与滤波:利用底部Al反射镜与顶部Ti/Si半透明层构成微腔,特定波长的光在TiO₂间隔层中发生多次反射与干涉,实现窄带滤波或特定波段的高效吸收
高度可调的谐振特性:通过精准控制TiO₂腔长与Ti层的超薄厚度,可精准调控谐振峰位、半高宽(FWHM)及特定波长的吸收/透射率
光场局域增强效应:在谐振波长处,光场被局域在微腔内,可显著增强光与物质的相互作用,利于提升传感灵敏度或非线性光学效应
膜层致密与界面清晰:采用PVD纳米级镀膜工艺,各层界面清晰、厚度精准可控,有效保障批量生产的光谱一致性与稳定性

典型应用

1. 窄带滤光片与光学滤波器:利用FP腔的干涉特性,用于高精度光谱仪、高光谱成像、激光雷达等需要精确波长选择的光学系统
2. 光学完美吸收器/热发射器:利用光场局域效应在特定波段实现高吸收,应用于红外探测、辐射制冷或热光伏系统
3. 高灵敏光学传感与生化检测:微腔谐振峰对环境折射率变化极为敏感,适用于无标记生化分子检测与高灵敏度折射率传感器
4. 微纳光学器件与调制器:作为集成光子回路中的关键单元,用于光信号的调制、滤波与路由
5. 激光光学谐振腔:作为激光器的端镜或谐振腔结构,用于特定波长激光的振荡与模式选择

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