氧化铝 Al2O3
氧化铜 CuO
二氧化硅 SiO2
二氧化钛 TiO2
氧化铟锡 ITO
氮化钛 TiN
掺铝氧化锌 AZO
氮化钽 TaN
二硫化钼 MoS2
锑化铟 InSb
微纳加工
光刻技术
刻蚀技术