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中文名:氧化锌铝(铝掺杂氧化锌);化学式:ZnO:Al(通常以Al₂O₃与ZnO的固溶体形式存在);英文名:Aluminum-doped Zinc Oxide(简称AZO);CAS号:12068-53-0 / 37275-76-6。外观为淡黄色至深灰色粉末或烧结靶材,属于六方纤锌矿晶体结构。Al³⁺离子(离子半径0.053 nm)替位掺杂到Zn²⁺位点(0.074 nm)上,引入自由电子并改变光电性质。不溶于水,溶于强酸和强碱,化学性质较为稳定

主要特点

一种n型重掺杂半导体材料,禁带宽度约3.2~3.5 eV,通过Al³⁺替位掺杂显著提升载流子浓度。薄膜形态下,可见光平均透过率可达90%以上,电阻率可达10⁻⁴ Ω·cm量级,兼具高光学透明度与低电阻率。折射率约1.8,与ITO相比具有原料丰富、成本低廉、无毒环保等优势。在氢等离子体环境中稳定性优于ITO,且可在室温下制备,适配柔性基底。Al掺杂使微晶尺寸减小,提高了比表面积,有利于气敏传感与光催化应用

应用范围

1. 平板显示与触控器件:作为液晶显示器(LCD)、有机发光二极管(OLED)及触摸屏的透明导电电极,替代传统ITO电极以降低成本并提升柔性兼容性
2. 薄膜太阳能电池:作为硅基薄膜电池或钙钛矿电池的透明前电极,利用其高透光率与低电阻率提升光电转换效率
3. 红外反射与热控涂层:利用其红外反射特性,用于建筑Low-E节能玻璃、汽车隔热膜及热反射镜
4. 柔性光电器件:室温沉积特性使其适用于柔性显示、柔性照明及塑料液晶显示器等柔性衬底器件
5. 气敏传感器与光催化:利用Al掺杂后减小的微晶尺寸与增大的比表面积,用于高灵敏度气体传感器及光催化降解污染物6. 电磁屏蔽与抗静电涂层:利用导电特性用于透明电磁屏蔽层及抗静电薄膜

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