基础信息
中文名:氧化铟镓锌;化学式:In₂Ga₂ZnO₇(通常以In₂O₃/Ga₂O₃/ZnO复合氧化物形式存在);英文名:Indium Gallium Zinc Oxide(简称IGZO);CAS号:151248-91-8。外观为淡黄色至深灰色粉末或烧结靶材,属于非晶态(a-IGZO)或六方晶系结构。相对密度约6.5 g/cm³(靶材),熔点约850℃(以In₂O₃计)。不溶于水,溶于强酸,在空气中化学性质稳定
主要特点
一种n型非晶氧化物半导体材料,光学带隙约3.0~3.4 eV,对可见光透明。薄膜形态下电子迁移率可达10 cm²/Vs以上,较非晶硅高出一个数量级;关态电流极低,约比低温多晶硅(LTPS)TFT低约1000倍。Ga的引入可抑制氧空位形成,降低无意n型掺杂倾向;Zn则用于调节带隙与薄膜稳定性。薄膜可在低温(甚至室温附近)条件下沉积,适配柔性衬底与大面积均匀镀膜,与非晶硅面板制程兼容性好
应用范围
1. 薄膜晶体管(TFT)沟道层:作为IGZO-TFT的核心有源层,用于液晶显示器(LCD)、有机发光二极管(OLED)及量子点显示等平板显示驱动背板2. 柔性显示与可穿戴设备:利用低温沉积特性,用于柔性OLED、可折叠显示屏及可穿戴电子器件的驱动电路3. 高分辨率与大尺寸显示面板:高迁移率特性支持高像素密度、高刷新率面板,适用于8K及以上超高分辨率显示驱动4. 透明电子器件:利用可见光高透特性,用于透明TFT、透明电路及透明传感器等5. 新型存储器与神经形态器件:作为阻变存储器的功能层或人工突触器件的有源材料6. 光电探测器与传感器:用于紫外/可见光探测器、气体传感器及生物传感器等