钽 Ta
氧化铟锡 ITO
掺铝氧化锌 AZO
氧化硅 SiO₂
氧化铝 Al₂O₃
氧化钛 TiO₂
氮化钛 TiN
钇钡铜氧 YBCO
氧化钇 Y2O3
氧化铟镓锌 IGZO
氧化铪 HfO₂
氧化硼 B₂O₃
ITO+SiO₂+VO₂
法布里珀罗腔涂层
W+Si+HfO₂
Cu+Ag+Cu
Ti+Al+Ti
TiO₂+[Fe+C]*20
[TiN+Al₂O₃+W]*5
SiO₂+Al₂O₃+Ag+Al₂O₃+TiO₂
Au+Sn 共溅射
La+Sc 共溅射
Mg+B 共溅射
Ni - 2nm
GST - 2nm
TaN - 2nm
Ti - 5nm
TiN - 10nm
光刻技术
刻蚀技术
